供应商：

东华大学采购与招投标管理中心受用户委托，以校内密封比价采购方式进行东华大学等离子增强化学沉积炉纤维制备示范平台项目采购。

一、项目内容：等离子增强化学沉积炉纤维制备示范平台，1台

1.    该平台主体为等离子增强化学沉积炉，搭配一个配件（桌面式超快速高真空热压炉）来对材料预处理。

2.    数量：1套

3.    项目总预算: 498000.00元 (报价超过采购预算作无效响应处理)

二、项目总体要求：

1、技术要求

1. 等离子增强化学沉积炉技术特点为：

•      快速加热和快速冷却   

•      最高工作温度1100°C  

主要技术参数为：

•      输出功率: 5 -500W    ± 1% .

•      射频频率: 13.56 MHz    ±0.005% .

•      反射功率:最大 200W

•      匹配: 自动

•      射频接口: 50 Ω, N-type

•      噪音: <50 dB.

•      冷却:风冷.

•      电源: AC   208-240V, 50/60Hz

•      标配机械泵真空系统真空度达 10-3 Torr.

•      可选分子泵真空系统，真空度可达真空度达 10-5 Torr.

•      KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.

•      管内真空可达10E-2 Torr

•      炉体: 550 x 380 x 520  mm

•      滑轨:  1750 mm 长

•      移动架: 1200 x 1200 x 600mm.

•      净重: 220 Lbs.

•      运输重量: 500lbs.

四个精密的质量流量计(精度0.02% ) ：数字显示，自动控制.

•      MFC 1范围:  0~100 sccm

•      MFC 2和3:   0~200 sccm 

•      MFC 4范围:   0~500 sccm

•      一个混气罐，底部装有泄废液口.

•      4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.

•      进气口: 4个1/4NPS.

•      出气口: 4个 1/4NPS.

2.  该平台需要1个桌面式超快速高真空热压炉配件，品牌：合肥科晶，该配件的基本特点为：

·双加热元件 加热元件 1：两个钨丝片作为加热元件，最高温度可达到2400℃；加热元件 2：两个石墨片作为加热元件，最高温度可达到2900℃；

· 采用高精度红外测温仪测量温度

基本参数为：

· 电源：AC 220V 50/60HZ · 功率：16 KW · 最大输出电压和电流：20V,800A（AC）

· 最大输入电流：80A · 最高加热温度：石墨片 2900℃（≤30s），钨丝片2400℃（≤30s）· 加热元件：钨丝片和石墨

· 最快加热速率：≤200℃/s · 最大压力：100KG

（可选配带数显压力调节功能，压力调节范围 30-100 公斤）· 样品尺寸：≤直径φ 50.8mm*厚度 2.0mm

真空腔室

· 材质：高纯石英

· 尺寸：外径φ216*内径φ206*L300mm

·使用红外测温仪检测温度，红外测温仪温度测量范围：1000-3000℃测量精度：±0.5% FS，重复精度：±0.3% FS 或±1℃

· 控温方式：手动控温和程序控温（通过“手动/自动切换开关”切换）· 手动控温：通过左侧面板上的电流调节旋钮调节电流值，从而调节温度· 程序控温：安装一个数显温度控制器，可设置30 段升降温程序，控温精度为±1℃

· 温度控制器的时间设置以秒为单位.

2、安装地点

安装至客户指定地点（东华大学校园内）

3、报价要求

所报价总额包含验收之前，运输和保险至东华大学用户指定地点并完成装卸，安装和调试等全部价格。

4、交货期

合同签订生效后60天

5、设备验收及安装调试

设备的验收按技术协议各项主要技术要求及指标和附件备件要求执行，经测试检验合格后买卖双方签署验收报告并交付使用。测试检验组织实施及费用由需求方负责。仪器到货后，由最终用户书面通知报价方安装调试，报价方在接到安装调试通知后到现场对设备进行开箱、清点并安装调试。

6、售后服务

设备质保期从设备验收合格后采购人签字认可之日起计算，质保期至少为1年，报价方详细阐述售后服务。

三、报价文件截止时间：

2022年11月28日上午10：00，为最终报价截止时间，报价文件需加盖单位公章并密封，密封处加盖单位公章，未按时送达视为自动放弃。

四、 寄送地址：东华大学采购与招投标管理中心（上海市松江区人民北路2999号东华大学松江校区行政楼123室  孙艺 收 电话：18817367143  请以邮寄的方式，选择顺丰快递，请勿以闪送的方式交付文件，快递包装上请标注报价项目名称 ）。

五、本次采购的相关要求：

受邀供应商在报价文件中需提供相关资格证明材料和无不良信用记录的相关证明（相应网页截图）。相关资格证明材料指：营业执照、组织机构代码证、税务登记证（三证合一的服务商仅需提供“企业法人营业执照副本”）复印件、法人代表授权委托书复印件、被授权人身份证复印件、以及具有与本项目相适应的经营范围。不良信用记录指：服务商在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或在中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）被列入政府采购严重违法失信行为记录名单。以上资料均需加盖公章，提供不全者将可能导致其报价被否决。

如对本项目内容有任何问题，可咨询：东华大学 材料科学与工程学院，江老师，电话：       19121389658，

本次报价商务联系人：孙老师，电话：021-67792465

                                                    2022年11月23日