各供应商：

  东华大学采购与招投标管理中心受用户委托，以校内密封比价采购方式进行东华大学高温磁控溅射系统项目采购。

 一、项目内容：

1.项目名称:高温磁控溅射系统

2.品牌：矩阵多元科技

3.型号：RS-B

4.项目数量:1台

5.项目总预算:  495,000.00元(报价超预算,报价单算无效报价单)

二、项目总体要求：

 1、项目总体技术要求

1）.设备极限真空5x10^-5 Pa，真空漏率：≤6.6×10^-8 Pa·L/s，进口真空计

2）.样品台：加热面积4英寸，Z轴行程100mm，马达控制，基片可连续旋转，加热温度900°C，稳定性：±1°C；温差＜3%

3）. 2英寸靶枪2个，标准磁场和强磁场靶枪各1套，在真空环境下，靶枪倾角可原位自动调整，靶枪配有挡板

4）. 气路系统，配有3个工艺气路可通氮气、氧气、氩气，配有进口流量计

5）. 进口DC电源1套，500w

6）. 软件系统，可控制设备加热，靶枪，进气等，带有安全互锁以及多人账户管理功能

 2、交货安装地点：

安装至松江校区科技创新楼5楼501-503客户指定地点（东华大学校园内）

 3、交货期

  合同签订生效后3个月内交货

 4、设备安装调试及验收

供应商在国内需有专业的技术支持团队及售后工程师，工程师负责在采购人指定实验室对设备进行组装、安装及调试，直至设备进入正常工作状态，在此期间一切费用由供应商承担，提供免费培训。

    膜厚均匀性验收，在样片表面沉积200nm的Ti膜，其厚度均匀性优于±3%

  5、售后服务

    设备质保期从设备验收合格后采购人签字认可之日起计算，质保期为壹年，报价方详细阐述售后服务。

 6.付款方式：

     合同生效后预付合同总价 50%的货款，验收合格后凭全额发票付清剩余货款。

三、报价文件截止时间：

2023年9月9日（星期六）上午9：00，为最终报价截止时间，报价文件需加盖单位公章并密封，密封处加盖单位公章并注意项目名称，未按时送达视为自动放弃。

四、送达或邮寄地址：

    上海市松江区人民北路2999号行政楼123房间 

       徐忠文收  13801833121，

    只收顺丰快递。(请勿以闪送的方式交付文件，快递外包装上请标注报价项目名称)

五、本次采购的相关要求：

受邀服务商在报价文件中需提供相关资格证明材料和无不良信用记录的相关证明（相应网页截图）。相关资格证明材料指：营业执照、组织机构代码证、税务登记证（三证合一的服务商仅需提供“企业法人营业执照副本”）复印件、法人代表授权委托书复印件、被授权人身份证复印件、以及具有与本项目相适应的经营范围。不良信用记录指：服务商在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单或在中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）被列入政府采购严重违法失信行为记录名单。以上资料均需加盖公章，提供不全者将可能导致其报价被否决。

 如对本项目内容有任何问题，可咨询：

      功能材料研究中心

        顾老师，电话：18801918125

 本次报价商务联系人：徐忠文    电话：021-67792465

                                                                                             2023年9月5日